Determinación de secciones eficaces de producción de rayos X característicos tipo L y M generados mediante impacto electrónico

Abstract

Se determinaron las secciones eficaces de producción de rayos X tipo L y M de los elementos Au, Ta y Mo, para un rango de energías del haz electrónico entre un valor cercano al umbral de ionización correspondiente y una energía máxima de 30 keV. Para ello se midió mediante un espectrómetro EDX, el número de fotones X característicos NL(E), NM(E), emitidos por el espécimen bombardeado con Ne electrones de energía E. Luego, estos datos fueron convertidos en secciones eficaces de producción de rayos X característicos, al tomar en cuenta el espesor de las películas delgadas que se utilizaron como muestras experimentales, la concentración atómica, el número de electrones impactantes, la eficiencia del detector y el ángulo sólido de detección. En procura de minimizar la proporción de electrones retrodispersados, las muestras experimentales se elaboraron depositando, mediante la técnica de pulverización catódica, películas delgadas de los elementos mencionados sobre películas delgadas de carbón, utilizando rejillas de cobre de las usadas en TEM como soportes para el conjunto. Los espesores de las películas se determinaron mediante un microscopio de fuerza atómica, al medir la altura de “escalones” de material depositado, creados mediante la colocación de máscaras sobre pastillas de silicio durante la pulverización. Se determinaron las secciones eficaces de producción de rayos X por impacto electrónico Au-Lα, Au-Lβ, Au-Mα, Ta-Mα y Mo-L, encontrándose una tendencia polinomial de segundo grado en dichas medidas.